1、与行星径向平行的台阶边缘被对称淀积.
2、还讨论了氟原子在金刚石薄膜淀积过程中的作用。
3、给出了不同衬底温度下淀积薄膜中硼深度分布的一些特征。
4、这种淀积反应器很容易达到适应125或150mm的基片.
5、揭示了常规热丝法薄膜淀积工艺中热钨丝易断裂的原因。
6、一种化学汽相淀积过程,发生在适度的温度下.
7、第8层古土壤特殊的厚层淀积代表了气候的多次变化和多个成壤期。
8、其中着重描述了反应腔对反应温度,反应压力和气体流量的控制方法,以及测量设备对淀积薄膜性能的测量原理。
9、通过相图讨论了系统压力、激活温度和氟含量对低压金刚石薄膜淀积条件的影响,可以为实验研究提供理论指导。
10、目标是通过研究反应流量、表面迁移率及反应能量等分子构成级的薄膜淀积工艺,克服对高热能输入的依赖。