1、还详细讨论了卤素原子在金刚石薄膜淀积过程中的作用。
2、与行星径向平行的台阶边缘被对称淀积.
3、还讨论了氟原子在金刚石薄膜淀积过程中的作用。
4、给出了不同衬底温度下淀积薄膜中硼深度分布的一些特征。
5、这种淀积反应器很容易达到适应125或150mm的基片.
6、严酷的,枫的颜色,领略岁月的磨砺,寒霜的敲击坚强如铁,饱经生命的惊涛骇浪,从容如磐,飞跃梢头那鲜红的高度。霜染的两鬓,淀积着,生命的成熟。
7、岁月流逝,每个人都终将老去。然而感情却在悄无声息的光阴里沉淀积攒,当陪在你身边成为习惯,才发现,爱也太轻,你早已是我生命中的一部分。
8、其中着重描述了反应腔对反应温度,反应压力和气体流量的控制方法,以及测量设备对淀积薄膜性能的测量原理。
9、通过相图讨论了系统压力、激活温度和氟含量对低压金刚石薄膜淀积条件的影响,可以为实验研究提供理论指导。
10、目标是通过研究反应流量、表面迁移率及反应能量等分子构成级的薄膜淀积工艺,克服对高热能输入的依赖。
